產(chǎn)品簡介

1. 應(yīng)用
TFT-LCD / LED 製程中Array 製程設(shè)備中CVD 設(shè)備(化學(xué)氣相沉積鍍膜設(shè)備)零件，使用溫度可達 350~400°C.

2. 材質(zhì)
純鋁 6061 + 陽極氧化 （草酸, 混酸, 獨家專利技術(shù)）

3. 規(guī)格
1). LCD液晶顯示器從3.5代到10代 
2). AKT業(yè)凱、ULVAC優(yōu)貝克